Översikt
Massflödesmätare är en mycket viktig komponent i tillverkningsutrustning för halvledare. Arbetsstabilitet är ofta en viktig faktor för framgång och misslyckande i halvledarprocesser.
HORIBA STEC, Som tillverkare av flödesmätare med en marknadsandel på över 35 %*1 över hela världen har vi länge levererat högkvalitativa, mångsidiga produkter till halvledarindustrin. Med en helt ny teknik marknadsför HORIBA STEC nu en ny typ av massflödeskontroller över hela världen: Z500-serien.
Z500X-serien är ett helt nytt genombrott i jämförelse med äldre modeller och är dömd att förändra framtiden för flödeskontrollteknik. Konvertering av sammansatta gaser och sammansatta flöden är möjlig samtidigt som alla funktioner som kunden behöver för flödeskontroll tillhandahålls. Kunderna kan enkelt ändra flödesmätargastyper och mäträckvidd i enlighet med processbehoven*2.
Dessutom uppfyller Z500-serien fullt ut designkraven för RoHS-gröna produkter genom tekniska innovationer i produktmaterialen och ökar produktvärdet för kunderna.
De högpresterande flödesmätarna i Z500-serien kommer att överraska dig ännu mer. Världen ser födelsen av denna nya typ av massflödesmätare som kommer att förändra hela halvledarindustrin.
*1 Se studien från VLSI 2007.
*2 Komponerad gas, komponerad flödesfunktion.
Egenskaper
Hög precision: inställ flödesvärdet ± 1,0%.
Den linjära noggrannheten hos MFC kompenseras av en polynomial approximationskurva, en teknik som garanterar hög styrnoggrannhet inom olika kontrollområden. För att förbättra noggrannheten i kontrollen av olika faktiska gastyper har HORIBA STEC utvecklat standardgasmätningssystem och samlat in kalibreringsdata för olika processgaser baserat på ett stort antal experiment.
Höghastighetssvar
SEC-Z500X använder det senaste utvecklade "ändrbara PID"-systemet för att säkerställa att förändringar mellan två inställda flödespunkter sker inom 1 sekund PID-data justeras automatiskt när olika flöden inställs och PID-data optimeras automatiskt för höghastighetsrespons även efter förändringar av gastyp och flödesområde.
Komponerade gaser, komponerade flödessystem
Med den nya produkten HORIBA STEC kan kunderna enkelt ändra typ av gas och flöde på plats. Vår programvara för inställning av Z500 är enkel och lättanvänd. Ännu bättre är att slutförandet av dessa förändringar inte ens behöver ta bort MFC från systemet. På så sätt kan antalet reservdelar minskas avsevärt och samtidigt sparas tid och kostnader.
Produktrelaterade bilder och annat