Den ultraminiatyra trycksensorn CYG502 med en nominell ytterdiameter på 2 mm är utformad för användning i vätskemekaniska experiment som kräver mindre monteringsstorlekar. Det är för närvarande den minsta trycksensorn i våra produkter.

Tryckkänsliga komponenter i CYG502 är utformade och tillverkade med avancerad teknik MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Tredimensionellt integrerade, dubbelsidiga bearbetade tryckkänsliga komponenter av silikon har utmärkt linjär precision. Den höga konsistensen i Whiston-spänningsbroen, tillverkad med joninjektion och finfotografi, ger den mycket liten temperaturdrift. Användning av silikon silikon direkt bindning teknik, omvänd V-slott design, vilket möjliggör optimering av chip film storlek, minska hela chip storlek till 1 x 1 mm storlek, och utgångskänsligheten kan fortfarande nå 100 kpa, för att uppnå ett kritiskt genombrott för ultra-mikro sensorer.

Förändring av silikon-glas-bindning i traditionell design till silikon-silikon-bindning förbättrar värmematchningseffekten och minskar nollstabiliteten som orsakas av spänning.

För närvarande finns det olika typer av absoluta tryckmätningsmodeller, och trycktypen är under utveckling.

CYG502A ultra-mikro-trycksensorn är i sondform med en standarddiameter på Ф2,15 mm och en längd på 18 mm, och sensorns valbara mätområde är 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500 och 4000kpa absolut tryck.

CYG502A-tryckdämparen trycker framåt med känsliga komponenter. Det är därför endast lämpligt för torra gaser som är icke-korrosiva och icke-ledande. Det har en ganska bred arbetstemperaturzon, upp till -55 ℃ ~ + 120 ℃, har också mycket utmärkta högfrekventa dynamiska egenskaper, dess lägsta skala av känsliga komponenter inneboende frekvens > 200kHz, stigningstiden är sub-mikrosekunder.

1, prestandaindikatorparametrar

2, full skala utgång: min 30mv typiskt värde 80mv max 130mv

Input/output impedance: Minimum 3 kΩ Typiskt värde 5 kΩ Max 7 kΩ

Input arbetsström: 1.5mA (mättryck typ) 1mA (absolut tryck typ) (konstant strömkälla)

Arbetstemperaturområde: -55 ℃ ~ + 120 ℃

Kompensationstemperaturområde: -10 ℃ ~ + 80 ℃

Överblastningskapacitet: 200% av den nominerade räckvidden

Accelerationskänslighet: <0,001% FS/g

Dimensioner: CYG502A